完全集成和校準(zhǔn)的MEMS慣性傳感器的出現(xiàn)，可能是促使平臺(tái)穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制、安全/監(jiān)控設(shè)備、機(jī)器人、工業(yè)車輛導(dǎo)航和機(jī)械調(diào)平等領(lǐng)域系統(tǒng)升級(jí)的關(guān)鍵因素。

　　最近的傳感器技術(shù)發(fā)展使得工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)革命性的進(jìn)步。慣性傳感器能夠改善系統(tǒng)性能的應(yīng)用包括：平臺(tái)穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制、安全/監(jiān)控設(shè)備、機(jī)器人、工業(yè)車輛導(dǎo)航和機(jī)械調(diào)平等。這種傳感器提供的運(yùn)動(dòng)信息非常有用，不僅能改善性能，而且能提高可靠性、安全性并降低成本。

　　然而，要想獲得這些好處，必須克服一些障礙，因?yàn)樵S多工業(yè)應(yīng)用處在惡劣的物理環(huán)境下，需要考慮溫度、振動(dòng)、空間限制和其他因素的影響。就工程師而言，為了從傳感器獲取一致的數(shù)據(jù)，將其轉(zhuǎn)換成有用的信息，然后在系統(tǒng)的時(shí)序和功耗預(yù)算內(nèi)做出反應(yīng)，工程師必須擁有多種技術(shù)領(lǐng)域的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，并且遵循良好的設(shè)計(jì)規(guī)范。

　　了解問題

　　來自慣性傳感器的信息經(jīng)過處理和積分后，可以提供許多不同類型的運(yùn)動(dòng)、位置和方向輸出。每種類型的運(yùn)動(dòng)都涉及到一系列應(yīng)用相關(guān)的復(fù)雜因素，對(duì)此必須加以了解。工業(yè)控制應(yīng)用就是一個(gè)很好的例子，某種形式的指向或轉(zhuǎn)向設(shè)備對(duì)這些應(yīng)用十分有用。傾斜或角度檢測(cè)常常是此類應(yīng)用的核心任務(wù)，在最簡單的范例中，機(jī)械氣泡傳感器便可滿足需要。然而，在明確傳感器需求之前，必須分析最終系統(tǒng)的完整運(yùn)動(dòng)動(dòng)力學(xué)特性、環(huán)境、壽命周期和可靠性預(yù)期。如果系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)相對(duì)而言為靜態(tài)，簡單的角度傳感器可能就足夠了，但實(shí)際的技術(shù)決策取決于響應(yīng)時(shí)間、沖擊和振動(dòng)、尺寸、整個(gè)壽命期間的性能漂移。此外，許多系統(tǒng)涉及到多種類型的運(yùn)動(dòng)(如旋轉(zhuǎn)和加速度等)，而且往往在多個(gè)軸上工作，這就需要考慮將多種類型的傳感器結(jié)合在一起。

　　一旦知道正確的傳感器類型和技術(shù)后，挑戰(zhàn)便轉(zhuǎn)移到了解和最終補(bǔ)償傳感器對(duì)環(huán)境(溫度、振動(dòng)、沖擊、安裝位置、時(shí)間和其他變量)的反應(yīng)。環(huán)境補(bǔ)償涉及到額外的電路、測(cè)試、校準(zhǔn)和動(dòng)態(tài)調(diào)整，而每種類型的傳感器，甚至每個(gè)傳感器都是獨(dú)一無二的，因此這又會(huì)帶來補(bǔ)償不足或過度的額外風(fēng)險(xiǎn)，除非工程師對(duì)傳感器特性有著詳盡的了解。最后這一點(diǎn)驅(qū)使許多設(shè)計(jì)工程師采用完全集成的傳感器解決方案，以便消除運(yùn)用和實(shí)施過程中的障礙。

　　慣性傳感器：線性速率和角速率傳感器

　　慣性傳感器有多種類型。MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器是最完善的傳感器類型之一，已經(jīng)使廣泛的應(yīng)用受益。15年前，MEMS線性速率傳感器(加速度計(jì))徹底革新了汽車安全氣囊系統(tǒng)。自此以后，從筆記本硬盤保護(hù)到游戲控制器中更為直觀的用戶運(yùn)動(dòng)捕捉，各種獨(dú)特的功能和應(yīng)用得以實(shí)現(xiàn)。

　　根據(jù)諧振器陀螺儀的原理，MEMS結(jié)構(gòu)也可提供角速率檢測(cè)。兩個(gè)多晶硅檢測(cè)結(jié)構(gòu)各含一個(gè)擾動(dòng)框架，通過靜電將擾動(dòng)框架驅(qū)動(dòng)到諧振狀態(tài)，以產(chǎn)生必要的運(yùn)動(dòng)，從而在旋轉(zhuǎn)期間產(chǎn)生科氏力。在各框架的兩個(gè)外部極限處(與擾動(dòng)運(yùn)動(dòng)正交)是可動(dòng)指，放在固定指之間，形成一個(gè)容性撿拾結(jié)構(gòu)來檢測(cè)科氏運(yùn)動(dòng)。當(dāng) MEMS陀螺儀旋轉(zhuǎn)時(shí)，可動(dòng)指的位置變化通過電容的變化進(jìn)行檢測(cè)，由此得到的信號(hào)被送入一系列增益和解調(diào)級(jí)，產(chǎn)生電速率信號(hào)輸出。某些情況下，該信號(hào)經(jīng)轉(zhuǎn)換后送入一個(gè)專有數(shù)字校準(zhǔn)電路。

　　傳感器內(nèi)核周圍的集成度和校準(zhǔn)由最終性能要求決定，但在許多情況下，可能需要進(jìn)行運(yùn)動(dòng)校準(zhǔn)，以便實(shí)現(xiàn)最高的性能水平和穩(wěn)定性。

　　工業(yè)環(huán)境：集成信號(hào)調(diào)理和傳感器處理

　　在工業(yè)市場(chǎng)上，諸如振動(dòng)分析、平臺(tái)校正、一般運(yùn)動(dòng)控制之類的應(yīng)用需要高集成度和高可靠度的解決方案，檢測(cè)元件在許多情況下是直接嵌入到現(xiàn)有設(shè)備中。此外，還必須提供足夠的控制、校準(zhǔn)和編程功能，使器件真正獨(dú)立自足。一些應(yīng)用范例包括：

　　·工業(yè)機(jī)械的狀態(tài)監(jiān)控：通過將傳感器更深地嵌入機(jī)械內(nèi)部，并且藉由傳感器性能和嵌入式處理而更早、更準(zhǔn)確地掌握狀態(tài)變化的跡象，可以獲得切實(shí)的效益。

　　·機(jī)器自動(dòng)化：通過提高精度，并且更加嚴(yán)格地將此信息與遠(yuǎn)程控制或編程設(shè)置的運(yùn)動(dòng)相關(guān)聯(lián)，可以使自治或遠(yuǎn)程控制的精密儀器和機(jī)械臂更加精確、高效。